多维光交叉连接器
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研制出低损耗、侧壁陡直的SiNx波导，损耗＜1dB/cm，侧壁垂直度为88.5°；研制出多维光交叉连接器，耦合效率≥90.16%，3dB 带宽≥100nm，隔离度≤-45dB。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心创建时间：
2021-03-31
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研制出低损耗、侧壁陡直的SiNx波导，损耗＜1dB/cm，侧壁垂直度为88.5°；研制出多维光交叉连接器，耦合效率≥90.16%，3dB 带宽≥100nm，隔离度≤-45dB。