微电子所3D垂直集成自选通器件数据

自整流特性的阻变器件是解决交叉串扰的另一种途径，在自整流阻变器件的研究基础上研制了自选通的三维垂直堆叠的阻变器件阵列，制备了4层垂直堆叠阵列结构，记录了研制的流程，器件堆叠结构，以及4个分层中器件的电学特性。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了微电子所研制的自选通三维垂直堆叠阻变器件阵列，包含4层垂直堆叠结构及其制备流程，并提供了各层器件的电学特性数据。数据以opj和jpg格式存储，共27条记录，容量28.32MB。