光栅微结构复形方法及调控研究数据

聚焦光栅微结构复形过程中的关键调控参数与实验数据，通过构建CA（自动元胞）模型模拟膜层生长机制，系统探究了栅条放置方向、金属膜生长速率、工艺气压及靶间距等变量对复形效果的影响规律。实验数据采集涵盖不同工艺条件下的微结构特征参数，时间精度精确至秒级，空间精度达到微米级，采用扫描电子显微镜与轮廓仪等设备进行数据测量，通过平行实验验证数据重复性，剔除异常值后形成标准化数据集。该数据集为光栅微结构的可控制备提供了量化依据，可用于微纳制造工艺优化、复形机理数值模拟及相关设备参数调试，对推动微光学器件规模化生产具有重要参考价值。