大面积相干光场匀化增强原理及技术研究数据

本数据集依托大面积相干光场匀化增强技术原理构建，围绕实现光场均匀性优于±5%的目标展开实验。基于细光束扫描匀化原理，系统分析了曝光激光强度分布、扫描速率与扫描方式对干涉场均匀性的影响规律。通过优化设计双路同步扫描光学系统，明确了聚焦镜、空间针孔滤波器等关键元件的结构参数对光场匀化性能的作用机制。研究同时结合条纹锁定技术，有效抑制干涉条纹漂移，提升曝光稳定性。在实现高均匀性光场的基础上，本研究通过提升光能利用效率，显著缩短了曝光时间，为大幅面光栅等元件的高效制备提供了技术支撑。所开发的自动控制软件可灵活调节子光场尺寸、扫描路径等参数，满足不同视场、曝光剂量下的应用需求。该研究为高性能大面积衍射光栅的制造提供了一种有效的技术解决方案。