微透镜阵列超硬模具加工系统

开发了集微磨削、微车削、微抛光及飞秒激光组合加工设备，具有X、Y、Z、B四轴联动功能，能够实现车削、磨削、抛光功能。对复合加工装备进行机床精度测试，其中加工尺寸达到切削φ350mm、磨削φ100mm，B轴径向回转精度、轴向回转精度达到100 nm；C轴径向回转精度和轴向回转精度达到50 nm；X轴水平直线度100 nm/100 mm、垂直直线度 1um、定位精度±50 nm/50 mm、相对精度1 ppm、重复定位精度±50 nm；Z轴水平直线度100 nm/100 mm、垂直直线度 1um、定位精度±50 nm/50 mm、相对精度1 ppm、重复定位精度±50 nm；Y轴直线度±200 nm/50 mm、定位精度1.5 um、重复定位精度1 um。数据量为3.21MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集涉及一套集成了微磨削、微车削、微抛光及飞秒激光的加工系统，具备X、Y、Z、B四轴联动功能，支持车削、磨削和抛光操作。系统经过精度测试，加工尺寸可达切削φ350mm和磨削φ100mm，各轴的回转精度、直线度及定位精度均达到纳米级别，数据量约为3.21MB。