低温压力传感器研制与测试数据集

该数据集主要面向火箭用低温压力传感器设计、流片、封装与测试相关研究。数据采集方法包括:在北京遥测技术研究所产生的结构设计研究数据集用于指导传感器敏感芯体结构、尺寸设计；在北京遥测技术研究所产生的制备工艺数据集用于记录和指导低温压力传感器敏感组件的生产和优化方案；产生于北京遥测技术研究所的信号调理与补偿研究数据集用于记录和指导传感器生产过程中产品调试改进的方案；产生于北京遥测技术研究所和北京航天101所的低温性能标校数据集通过对产品的整机测试，用于对设计方案及生产工艺的验证；产生于北京航天计量测试技术研究所和北京长城计量测试技术研究所等国内权威机构的第三方测试报告数据集，用于对低温压力传感器本项目考核指标进行第三方权威测试机构的测试结果证明文件的记录。产生数据的核心设备包括：正弦动态压力标准装置、标准砝码、耐压仪、数字多用表、数字压力计、坐标测量机、低温试验介质系统。主要数据内容包括：通过对中外各类低温压力传感器进行调研，确立传感器研制方案，采用COMSOL Multiphysics进行传感器量程对应的敏感元件的膜厚设计，结合应力分布仿真分析确立敏感膜层的惠斯通桥路设计；建立敏感元件敏感组件生产工艺流程，对研磨抛光、镀膜、光刻、调阻、焊接等关键工序进行工艺优化及改进，提升传感器的性能，在此基础上完成传感器的设计、工艺流程固化，形成一系列设计图纸及工艺规程。形成低温压力传感器结构设计研究数据集；低温压力传感器制备工艺数据集；低温压力传感器信号调理与补偿研究数据集；低温压力传感器低温性能标校数据集；低温压力传感器数据支撑文件。数据量68.83MB。