8英寸GAA CMOS器件集成研究数据集

本研究提出了一个n型与p型GAA CMOS器件的数据集，根据研究内容划分为三个子数据集：1、基于中国科学院微电子研究所集成电路先导中心的200 mm CMOS工艺线平台，制备基于全DUV光刻的GAA CMOS器件的关键工艺流程和集成工艺；2、测试获得实验数据，以及数据处理所采用程序和实验数据分析；3、对GAA CMOS器件关键尺寸的SEM表征分析。数据集的潜在应用价值主要是在基于GAA CMOS器件的集成工艺方面为研究者提供可靠的技术方案和数据支撑。