大面积高精度薄膜超材料样品幅面尺寸厚度测试数据集

该数据集针对课题二研究内容薄膜基底喷淋显影技术，开展大面积高精度薄膜超材料薄膜基底喷淋显影技术研究，为了验证柔性薄膜基底喷淋显影效果，课题组完成了大面积高精度薄膜超材料样品制备，开展了大面积高精度薄膜超材料样品幅面尺寸厚度测试，样品基材厚度、幅面、线宽的考核方式为由具有CNAS资质的第三方检测机构出具检测报告。参照《GB/T6672-2001塑料薄膜和薄片厚度测定机械测量法》，采用厚度测量仪对加工大面积高精度薄膜超材料的基材厚度进行测试采集；参照《GB/T6673-2001塑料薄膜和薄片长度和宽度的测定》，采用标尺对大面积高精度薄膜超材料样品长宽边长尺寸进行测量，计算其总体幅面大小；参照《JY/T 0584-2020扫描电子显微镜分析方法通则》采用扫描电子显微镜测试大面积高精度薄膜超材料样品微结构的线宽或线距，与中心谐振波长对比。