一种利用化学处理辅助激光加工制备金刚石涡旋光束发生器的方法及其应用

本发明公开了一种利用化学处理辅助激光加工制备金刚石涡旋光束发生器的方法及其应用，属于飞秒激光加工技术领域，本发明通过紫外飞秒激光直写在金刚石样品表面刻写设计的螺旋波带片结构，之后对样品进行超声清洗以及化学处理，最终制备得到金刚石表面的涡旋光束发生器。其主要原理是利用热的混合酸溶液与激光焦点和金刚石表面作用过程中生成的石墨化物质进行化学反应从而对其彻底去除，避免其对所得结构形貌带来的不利影响，得到低粗糙度、光学性能优良的涡旋光束发生器元件。