基于可见光及极紫外光的叠层成像衍射实验数据集

本数据集记录了基于可见光及极紫外光的叠层成像衍射实验产生的原始数据及重建结果，涵盖衍射图、重建图、成像系统设计方案及相关科研成果。数据集通过高精度叠层成像实验设备采集衍射图，并利用相位恢复算法生成重建图，同时整理了成像系统设计方案及相关论文和专利作为成果子文件夹。衍射图记录了样品在可见光和极紫外光下的原始叠层衍射图，重建图展示了样品的振幅和相位分布。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集收录了基于可见光和极紫外光的叠层成像衍射实验数据，包括原始衍射图、经相位恢复算法重建的振幅与相位分布图，以及成像系统设计方案和相关科研成果。数据由高精度叠层成像设备采集，涵盖极紫外与可见光两个波段，为叠层成像技术研究提供完整实验依据。