线宽一致性数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
线宽一致性数据集，包括SEM/AFM/紫外测量的试验数据，matlab软件源代码（一维纳米光栅间距测量软件，二维纳米光栅间距与角度测量软件，线宽线边缘粗糙度测量软件，紫外测量软件）及软件操作说明书，软件著作权证明、SEM仿真数据等。数据量739MB。
提供机构：
中国计量科学研究院搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于线宽一致性测量，包含SEM、AFM和紫外测量的实验数据，以及相关Matlab软件源代码、操作说明和软件著作权证明等。数据总量为739MB，涵盖570个文件，格式包括TIF、BMP、JPG等多种类型。
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