线宽一致性数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67199c18195d2648020cf5ee&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
线宽一致性数据集，包括SEM/AFM/紫外测量的试验数据，matlab软件源代码（一维纳米光栅间距测量软件，二维纳米光栅间距与角度测量软件，线宽线边缘粗糙度测量软件，紫外测量软件）及软件操作说明书，软件著作权证明、SEM仿真数据等。数据量739MB。
提供机构：
中国计量科学研究院
