三维微纳结构加工工艺数据集

2016YFA0200501-002三维微纳结构加工工艺数据集主要面向耐高温光刻胶合成工艺及其二维、三维结构加工参数。基于中国科学院重庆绿色智能技术研究院提供的一种围栅纳米线器件替代栅光刻胶材料的性能数据及利用其非线性光学效应加工二维、三维微纳结构的数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于耐高温光刻胶的合成工艺及二维、三维微纳结构的加工参数，基于光子束调制技术，涉及双光子吸收效应在围栅纳米线器件中的应用。它包含材料性能数据和微纳结构加工数据，源自国家重点研发计划项目，旨在支持跨尺度微纳加工与器件研究。