三维微纳结构加工工艺数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
2016YFA0200501-002三维微纳结构加工工艺数据集主要面向耐高温光刻胶合成工艺及其二维、三维结构加工参数。基于中国科学院重庆绿色智能技术研究院提供的一种围栅纳米线器件替代栅光刻胶材料的性能数据及利用其非线性光学效应加工二维、三维微纳结构的数据。
提供机构：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
