大扇出结构FinFET器件制备实验数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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2016YFA0200504-001--大扇出结构FinFET器件制备实验数据集主要基于飞秒激光数字微镜面投影与直写协同曝光的跨尺度光刻技术制备大扇出结构FinFET的研究需求建设，基于三维微纳结构加工和FinFET器件制备，主要记录了三维微纳结构：超薄Fin结构制备和大扇出结构FinFET器件关键工艺及集成工艺实验数据和测试结果。
提供机构：
北京大学搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集基于飞秒激光数字微镜面投影与直写协同曝光的跨尺度光刻技术，聚焦于大扇出结构FinFET器件的制备实验。它记录了超薄Fin结构的制备过程以及器件关键工艺和集成工艺的实验数据和测试结果。
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