超精密五轴真空工作台测试数据

本数据集是为国家重点研发计划项目验收提供依据，在中国计量科学研究院对双束超精密五轴真空工作台进行测试，使用真空计、激光干涉仪、陀螺仪、激光跟踪仪和坐标测量机等测试设备测试了五轴真空台工作台的工作真空、XY轴运动速度、Z轴运动速度、R轴运动速度、T轴运动速度、平面度、承重、X轴行程、X轴定位精度、Y轴行程、Y轴定位精度、Z轴行程、Z轴定位精度、旋转轴行程、旋转轴定位精度、仰俯轴行程和仰俯轴定位精度，以验证双束超精密五轴真空工作台功能性能指标是否满足国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“ 聚焦离子束/ 电子束双束显微镜” 项目中课题三超精密五轴真空工作台开发”的研制要求。