深紫外AlGaN基LED高量子效率结构外延技术研究实验数据集

深紫外AlGaN基LED高量子效率结构外延技术研究实验数据集主要面向高量子效率UVC-LED外延技术研究，面向紫外消杀领域，课题基于MOCVD系统在蓝宝石衬底上外延高性能AlGaN基UVC-LED产生。主要记录了结构仿真数据、外延工艺数据、研发过程产生的测试数据，以及第三方认证报告及相关专利。数据量1.04GB。