针对不同片上试验机结构的机电工艺一体化模型采集实验数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=686a8db5195d2621a90dbf89&type=1
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资源简介：
数据包括薄膜冲击片上试验机中薄膜结构的冲击断裂能量、薄膜拉伸片上试验机中薄膜结构的静态抗拉强度、微梁冲击片上试验机中单端固支梁结构的抗冲击弯曲断裂强度、微梁拉伸片上试验机中微梁结构的静态抗拉强度的实验指标数据，另有相关3项标准（微结构弯曲断裂检测方法的IEC 62047-47标准于2024年8月23日发布，微结构拉伸相关的标准IEC 62047-54和微结构冲击断裂相关的标准IEC 62047-55推进到ACD阶段）。类型是文件，共16件。其中文件1~4分别为薄膜拉伸片上试验机、薄膜冲击片上试验机、微梁拉伸片上试验机、微梁冲击片上试验机的仿真数据，均采用自测试方式，采集地点为北京市，采集时间2022年1月~2024年11月。文件5~8分别为薄膜拉伸片上试验机、薄膜冲击片上试验机、微梁拉伸片上试验机、微梁冲击片上试验机的测试数据，均采用专家同行见证测试方式，采集地点为北京市。文件9为片上试验机数据分析报告。文件10~13分别为薄膜拉伸片上试验机、薄膜冲击片上试验机、微梁拉伸片上试验机、微梁冲击片上试验机的测试图片集，采集地点为北京市，采集时间2022年1月~2024年11月。文件14~16为标准文件。数据量89.4MB.
提供机构：
芯联集成电路制造股份有限公司
