SiC材料重离子辐照测试数据

本数据集面向SiC材料重离子辐照损伤机理研究，基于中国科学院近代物理研究所的兰州重离子加速器（HIRFL）及320 kV低能离子平台产生。数据主要收录了2022至2025年间对商用Cree 4H-SiC衬底开展的快重离子（如Ta）与低能离子（如Xe）辐照实验数据，涵盖通过SRIM软件计算的离子能量与射程、利用共聚焦拉曼光谱仪（LabRam HR800）获取的结构谱学数据、以及通过透射电镜（Tecnai G2 F300）观测的浅表面微观损伤形貌。数据集系统整理了不同注量条件下的多尺度表征结果，数据量约1.02 GB，为揭示不同能量重离子在SiC中引起的缺陷演化与损伤机制提供了关键实验依据。