物理气相输运法制备和生长大尺寸AlN单晶籽晶、晶锭数据集

建立4英寸PVT热场设计方法和生长分析模型，研究大尺寸晶体生长中的热应力分布和表征方法，进行大尺寸生长中的热场结构设计和动态调控技术研究，包含针对大尺寸晶体生长的模拟仿真结果数据；开展大尺寸SiC异质衬底上AlN单晶生长研究，探索大尺寸籽晶的制备方法，包含大尺寸AlN单晶异质生长过程中的表征数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

本数据集围绕物理气相输运法（PVT）制备和生长大尺寸AlN单晶籽晶及晶锭展开，提供了4英寸PVT热场设计模型与生长分析结果，涵盖大尺寸晶体热应力分布模拟及热场动态调控的仿真数据。同时包含在SiC异质衬底上生长AlN单晶的实验表征数据，涉及大尺寸籽晶制备工艺探索，数据以tif、txt、xlsx等格式存储，共28个文件。