基于化学辅助的硬脆材料超快激光加工新方法数据集

为提高激光加工硬脆材料的精度和表面质量，本项目创新性地开发了刻蚀辅助激光加工技术，本元数据集记录了该技术开发过程中制备的微纳结构的实验数据、分析数据、关键考核指标的支撑数据等图片、图表等数据。数据的采集采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、激光共聚焦显微镜等精密测试仪器，保证数据的质量。