大面积器件阵列的高精度跨尺度喷印制造数据

在电流体喷印实验过程中，可调控的多层器件结构表面物理性能调控参数选择各层材料的表面能、粗糙度、润湿性，在不同的性能参数与Bank结构设计参数下，进行实验分析，记录此时的成膜质量，作为衡量打印精度的标准。栅电极形状优化参数以栅电极大小形状及沟道间距为主要指标，改变形状参数，进行喷印测试，并记录TFT器件性能指标变化。