超高分辨率硅基芯片8K芯片数据

超高分辨率硅基芯片8K芯片数据集包括8个子文件夹：1-3文件为8K整体芯片设计、加工、测试，收录了芯片相关的数据，数据量约1370MB。4-8文件为研究内容的相关数据，收录了芯片五个研究内容中各技术点的数据，与论文的对应关系，数据量约800MB。数据采集于中国科学院微电子研究所EDA中心芯片设计服务器上，测试数据采集于中国科学院微电子研究所C503房间以及广东省横琴数字光芯半导体科技有限公司北京办公室燕东大厦3层，显微镜、开发板、示波器等测试设备，部分工艺文件与第三方测试数据来自于外部机构。