芯区波导最小传输损耗数据集

针对国家在信息等相关领域对独立研发芯片产品的迫切需求，开展了SiO2基光子芯片共性工艺研究，通过优化刻蚀技术，可以实现波导侧壁的光滑陡直，从而降低器件的传输损耗。基于点光源及光功率计等光测量系统，主要记录了2个3米传输线波导的传输损耗数据，数据量1.36MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集面向SiO2基光子芯片的共性工艺研发，基于优化刻蚀技术以降低波导传输损耗。数据来源于点光源及光功率计等测量系统，记录了2个长度为3米的传输线波导的最小传输损耗数据，总数据量约1.42MB。