极紫外光通量与增益特性数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-06-03 收录
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该数据集主要用于定量表征装置在不同实验条件下产生相干极紫外光的能力,是项目考核指标中“极紫外光通量大于10^12 光子/s”的核心支撑数据。数据面向极紫外输出性能评估需求,围绕氦气压强、电激发功率、红外泵浦激光功率等变量进行单参数扫描,记录不同工况下的光电流、有效信号与最终换算光通量。数据既包含项目内部实验数据,也包含第三方检测数据,内部部分通过AXUV100G光电二极管和Ke6485电流表反复采样,统计背景与泵浦条件下信号均值和标准差;第三方部分则通过多铝膜对比方法区分背景辐射与有效极紫外信号,并结合量子效率和光子能量完成通量换算。体量上,该数据集含多组原始 .dat 文件、汇总处理表格、分析图像和第三方测试报告,覆盖从单次测量到综合统计分析的全过程。
提供机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所


