传感模块单元特征尺寸重复性数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=683dea8a195d2612331898b4&type=1
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资源简介：
根据项目课题任务书要求实现传感模块单元特征尺寸的重复性大于90%。针对上述要求，中国科学院上海微系统与信息技术研究所通过显微镜检测，提供了离子敏元件单芯片上传感单元的数量及特征尺寸，计算重复性并达到课题任务书指标要求，传感模块单元特征尺寸的重复性大于90%。数据采集于2023年3月28日至2024年10月30日，数据包括研发的离子敏元件单芯片上传感单元的数量及特征尺寸的显微镜图片。数据类型为1个PDF（离子敏元件特质尺寸显微镜照片）文件，一个Excel（离子敏元件特征尺寸重复性数据）文件，共0.89 MB。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
