硫化物、氮化物与氧化物光敏剂聚碳酸酯膜刻蚀效果
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-14 收录
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资源简介：
本数据为3款聚碳酸酯激光高敏薄刻蚀效果性能测试，测试内容包含硫化物、氮化物与氧化物光敏剂聚碳酸酯膜刻蚀效果。每款聚碳酸酯激光高敏薄膜包含从0.2wt%至0.8wt%不同掺杂浓度的光敏剂，确定激光扫描速度为1000mm/s,通过调控激光功率变化范围（从10至50W）得到具有不同刻蚀效果的字母图案。所用设备主要为Nd-YAG激光器（1064nm）设备，数据格式为图片，数据量约为5MB。
提供机构：
国家移民管理局出入境管理信息技术研究所
