Micro-LED外延片PL光学性能

本数据集主要面向高均匀性 Micro-LED 外延制备工艺研究，通过生长载盘设计，生长衬底设计，外延生长工艺设计等多维度进行协调控制，获得了均匀性良好的外延片；基于光致发光、荧光光谱法和反射原理，利用PL谱扫描成像仪，外延片以0.4mm步进移动扫描，选择正中间2cm*2cm面积包含数据计算均匀性、标准差，记录过程数据与计算所得数据，数据量13.1MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于高均匀性Micro-LED外延制备工艺研究，通过多维度协调控制获得均匀性良好的外延片，并基于光致发光原理使用PL谱扫描成像仪进行扫描，记录过程与计算数据，数据量约13.1MB。