微纳复合结构高精度形貌恢复、大范围拼接与深度融合算法以及实验数据集

白光干涉与原子力探针扫描形貌恢复算法是进行白光干涉大范围拼接和双模式测量结果深度融合的基础。对于白光干涉测量模式，使用干涉信号包络替代相关峰探测进行等光程点研判的方法，建立干涉信号包络匹配模型，准确获取各测量点间的高度关系；对于原子力探针扫描测量模式，研究干涉信号去畸变处理方法，消除各种畸变对白光干涉信号的影响，高精度地恢复被测表面形貌。在此基础上，建立用于评价实际干涉信号和理想信号偏离程度的干涉质量评价模型，研究基于干涉质量评价的跨尺度微纳复合结构拼接算法，优化拼接过程中的特征提取、相关匹配和高度融合算法，实现跨尺度微纳复合结构高精度拼接；为了提高测量结果的视觉效果和特征参数评定精度，研究自适应跨尺度微纳复合结构三维形貌融合算法，实现双模式测量结果深度融合，为微纳复合结构跨尺度特征提取与参数评定提供基础。