先进制造装备与工艺完全被国外垄断与封锁，精度优于10nm的光栅位移传感器完全被如海德汉、索尼、PI等公司所垄断，对中国禁运。我国由于在纳米制造装备与工艺方面的瓶颈问题，尚不具备纳米精度光栅位移传感器的制造能力。本数据集包含线位移传感器实验原型（量程50mm）、角位移传感器实验原型的测试数据，包括第三方测试报告、研究过程的实验测试数据。本数据产生的时间是2022年1月1日至2023年12月30日，地

国家基础学科公共科学数据中心160

硅-铌酸锂薄膜基片的面积第三方测试原始数据

光子学

精密测量

本数据集为四寸的绝缘体上铌酸锂薄膜晶圆上铌酸锂薄膜的面积的第三方测试数据，这些数据由上海市质量监督检验技术研究院通过影像测量仪和三坐标测量机测量提供。铌酸锂是一种新型的集成光子学材料，大面积的绝缘体上铌酸锂薄膜提供了一个实现高速电光调制系统的平台。而本数据集中的四寸绝缘体上铌酸锂薄膜晶圆则为晶圆级的铌酸锂光子学结构的制备，提供了一个高效的平台。

国家基础学科公共科学数据中心140

超灵敏MEMS弱力传感器加工及测试标定数据

MEMS传感器

精密测量

本数据集聚焦超灵敏MEMS弱力传感器加工制备、性能测试与标定全流程构建，旨在为MEMS传感器加工工艺优化、测试平台搭建及性能标定方法改进提供实测数据支撑。其产生过程采用SOI-MEMS工艺完成传感器加工，通过光学显微镜GP300C与扫描电子显微镜SEM4000Pro分别获取传感器整体及细节结构图像；搭建基于六轴纳米位移台（Nators）的测试平台，在光学平台隔振、真空环境（<0.1Pa）下，利用频

国家基础学科公共科学数据中心160

光源光强波动对光学刻度盘重复精度的影响分析数据

精密测量

光学设备

本数据聚焦于分析光源光强波动对光学刻度盘重复精度的影响，揭示了光源稳定性与刻度盘定位精度之间的量化关系，为公司（作为生产商）及外部相关方提供了重要的决策依据，具有显著的应用价值。具体体现在以下方面： 1.优化产品开发和生产工艺：公司可通过分析光强波动对重复精度的影响，精准调整光源驱动电路或光路设计，优化光学刻度盘的测量稳定性，科学制定质量控制标准和工艺参数，提升产品性能和环境适应性。 2.推动行业

浙江省数据知识产权登记平台2025-08-05 更新150

Decimeter Challenge 2 Submissions

资源简介：

相关数据集