基于片内微流冷却结构的功率器件和高功率冷却系统性能参数数据集

该数据集基于片内微流冷却结构的功率器件的开展了功率器件片内微流冷却结构的热、电、力多场耦合协同设计研究、近结片内微流刻蚀工艺研究、片内微流冷却与GaN器件集成工艺兼容性研究，器件性能测试验证研究等工作，并进一步形成了相对应的研究数据，数据量为251 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦基于片内微流冷却结构的功率器件与高功率冷却系统，收录了热、电、力多场耦合协同设计、近结微流刻蚀工艺及与GaN器件集成兼容性等研究中的性能参数数据。数据总量为251 MB，为相关器件和系统的性能验证与分析提供了基础。