激光剥离/解键合的热-力损伤行为的调控方法仿真与实验数据

使用comsol软件构建激光剥离模型，模拟得到带有自由电子密度、电子温度和晶格温度结果的.mph文件；使用Origin后处理软件对计算结果进行整理画图，得到.png、.jpeg格式的文件；使用电子显微镜和三维扫描仪（本校）观察不同激光能量密度/光斑重叠率影响下分离面表面形貌,得到.png、.jpeg格式的文件;使用接触角测试和拉曼光谱法观察玻璃衬底表面碳簇微观结构与润湿性表征，得到.png、.jpeg格式的文件；利用COMSOL Multiphysics 6.3仿真软件建立了将CNTs集成在PI与玻璃界面之间的模型和未在PI与玻璃界面之间集成CNTs的模型。利用软件模拟不同超快激光（ns，ps，fs激光）在不同脉冲间隔下以连续三个脉冲辐照集成CNTs的PI/Glass界面。经过模型计算得到相应时间范围内（150ns，150ps，1500fs），不同脉冲间隔下的电子和晶格温度变化曲线以及截面温度分布图，随后将电子和晶格温度导出，得到txt格式文件。利用仿真软件模拟利用ps激光在30ps间隔下以连续三个脉冲辐照未集成CNTs的PI/Glass界面，经过模型计算得到150ps内的电子和晶格温度变化曲线以及截面温度分布图，随后将电子和晶格温度导出，得到txt格式文件，利用Origin绘图软件重新绘制电子和晶格温度变化曲线，汇总得到png格式文件；将90ps时对应的截面温度分布图导出为png格式；基于便携式半导体薄膜应力测试标定实验装置，使用拉曼光谱法和光致发光法检测单晶GaN和GaN基Micro-LED激光剥离的光谱峰位移数据，使用Origin后处理软件对计算结果进行整理画图，得到.png、.jpeg格式的文件。