硅基微纳锗硅探测器阵列仿真数据

本数据集主要面向硅基微纳锗硅探测器的仿真设计研究，基于Lumerical FDTD和Device仿真，对探测器的光场分布、响应度、频率响应、3dB带宽等参数进行仿真模拟。根据探测器理论3dB带宽的基础公式，计算了硅基锗光电探测器的锗本征区厚度和器件尺寸对器件3dB带宽的影响。这些数据是硅基微纳锗硅探测器设计的主要参考。