Related data for CF4 global model

Figshare2025-12-30 更新2026-04-28 收录

等离子体模拟

半导体工艺

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Related data and code for low-pressure radio frequency CF4 capacitively coupled plasma

创建时间：

2025-12-30

NIFS DATABASE

核聚变物理

等离子体模拟

NIFS DATABASE 是由日本核融合科学研究所（NIFS）建设的专业科学数据库平台，主要提供原子与分子物理及等离子体相关的数值数据与文献数据。其内容包括电子碰撞电离、激发与复合截面、重粒子电荷交换、分子碰撞过程以及固体溅射与反散射系数等数据，同时配套融合与等离子体科学领域的文献数据库。该平台支持科研人员获取高精度基础物理数据，广泛应用于核聚变研究、等离子体模拟、材料相互作用分析及相关物理建模

知名数据库4180

TSMC 22nm工艺宽电压时序签核测试数据

半导体工艺

芯片设计

本数据集是基于TSMC 22nm工艺节点构建的宽电压（0.6VDD~1.2VDD）时序签核的实测数据，旨在为宽电压设计中的时序签核问题一共实测参考。数据集的核心内容涵盖了从近阈值到宽电压、以及工艺角偏差和不同温度条件下的AI处理器功能测试数据的实测样本。数据采集环节依托经过严格校准的高精度测量设备，并引入第三方全流程现场监督机制，保障了数据本身具备极高的置信度与精确度。作为连接静态分析与硅后实测的

国家基础学科公共科学数据中心550

GAMERA: A three-dimensional finite-volume MHD solver for non-orthogonal...

等离子体模拟

磁流体动力学

Efficient simulation of plasmas in various contexts often involves the use of meshes that conform to the intrinsic geometry of the system under consideration. We present here a...

DASH Search100

基于55nm与28nm工艺NBTI效应老化可靠性模型实验数据

半导体工艺

老化可靠性

该数据集包含用于构建和验证NBTI老化可靠性模型的完整实验数据、脚本及结果文件。数据覆盖55nm与28nm工艺下14种基本单元门电路，在统一应力条件（Vgs、温度、时间）下进行NBTI老化仿真，并通过自动化脚本生成模型建模结果及HSPICE蒙特卡罗参考结果。数据内容包括NBTI建模软件代码、工艺库文件、单元门网表、参数配置文件、自动化建模脚本、MATLAB批处理比对脚本、建模与仿真结果文件，以及模

国家基础学科公共科学数据中心630

Deep Learning-Driven Modeling of Oxygen Redistribution and Thermal Transport in Silicon-on-Insulator and Buried-Oxide Layers for SIMOX processDeep Learning-Driven Modeling of Oxygen Redistribution and Thermal Transport in Silicon-on-Insulator and Buried-Oxide Layers for SIMOX process

半导体工艺

深度学习建模

Data and code supporting the key findings of “Deep Learning-Driven Modeling of Oxygen Redistribution and Thermal Transport in Silicon-on-Insulator and Buried-Oxide Layers for SIMOX process”.

DataCite Commons2026-03-08 更新130

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