真空差分系统工程与结构设计数据

该数据集用于验证在前端高气压放电条件下，差分抽气系统末端能否维持极紫外光传输与探测所需的高真空环境，是项目工程实现中的关键支撑数据。与前五类偏物理量测数据不同，该数据集兼具工程设计与运行状态监测双重属性，既包括差分腔体的三维结构设计模型和二维工程图，也包括系统运行时末端真空度的实时测量结果与稳定值记录。实验前需对整套真空系统进行抽真空和充分烘烤除气，使本底真空达到10^-8 Pa量级，再记录不同工况下的末端真空度。数据来源于差分真空系统工程设计与运行测试，主要记录系统结构参数、抽气状态及末端真空读数，数据文件形式包括 .STEP、.PDF 等。该数据集对于保障极紫外实验条件、验证工程方案可行性和支撑整机验收具有直接意义。