大尺寸高导热金刚石晶体可控制备及性能评价数据集

本数据集面向大尺寸金刚石外延生长层杂质缺陷原位修复与大厚度金刚石高热导率性能调控开展研究，系统性地研究了衬底过渡层图形化处理下的定向晶核形成规律、微波放电边缘效应对衬底表面温度场分布影响。最后，通过揭示生长工艺与性能，实现了外延生长过程的精准调控，实现了金刚石生长质量的高精度把控，实现了大尺寸高导热金刚石晶体可控制备，数据量共212 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

本数据集聚焦大尺寸高导热金刚石晶体的可控制备与性能评价，系统研究了衬底图形化处理下的定向晶核形成规律及微波放电边缘效应对温度场的影响。通过揭示生长工艺与性能关系，实现了外延生长过程的精准调控和高质量把控，数据总量约212 MB。