微纳复合结构跨尺度测量系统应用研究及工程化改进实验数据集

该数据集主要面向微纳复合结构跨尺度测量应用研究、微纳复合结构跨尺度测量行业需求建设，其于自研的微纳复合结构跨尺度测量样机设备产生，主要记录了专业软件开发数据、由上海微电子提供的光刻光栅样品实验测量数据、由华工图像提供的微纳防伪结构实验测量数据，以及实验过程中产生的原始数据等内容数据。