大尺寸、功能铌酸锂薄膜的研制与非线性应用数据集

本数据集分为五部分，分别是论文合集、专利合集、报告合集、原始（过程）数据合集以及数据论文。其中论文合集是与本数据集相关的已经发表的论文；专利合集是与本数据集密切关联的专利；报告包括年度报告、中期报告和结题报告；原始（过程）数据合集是项目执行期间所产生的重要及管件数据。通过白光干涉仪测量测量区域的厚度信息，通过原子力显微镜测量晶元表面区域的粗糙度信息，通过X射线衍射仪测量得到铌酸锂晶元的结晶质量信息，通过激光器输出激光入射波导激发波导非线性信号，通过光栅光谱仪及光电探头采集得到倍频信号，通过示波器及光电探头采集得到波导耦合效率，通过光电探头及表头采集脊波导的出射功率，通过光电探头及表头采集微谐振腔器件的耦合出射功率，通过MATLAB及origin软件进行转化效率的理论及数值计算，通过光学显微镜对波导表面进行测试表征，通过扫描电子显微镜对波导形貌及波导端面进行表征。本课题作为整个项目的一部分，取得的成果将有助于从源头为铌酸锂薄膜的光子器件研究提供材料物质基础，打破国外对新型光子芯片相关技术的限制和潜在垄断，有望在高速光通信、信息处理及光互联等领域产生大规模、颠覆性的应用。