针对MEMS器件的工艺中需要定制化工艺的比例数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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本数据集包含了麦克风、惯性器件、压力传感器三个类别产品的定制化比例,从关键层设计、工艺流程简介等介绍三类产品,选取代表的产品进行定制化比例的分析,得出定制化的比例。类型是文件,共3件。文件采集地点为浙江省绍兴市,采集时间2021年12月至2024年11月,数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线上。数据量2.23MB。
提供机构:
芯联集成电路制造股份有限公司搜集汇总
数据集介绍

背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于MEMS器件制造过程中所需定制化工艺的比例,具体针对麦克风、惯性器件和压力传感器三类产品。通过分析关键层设计与工艺流程,选取代表性产品进行比例计算,最终得出定制化工艺的占比。数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线,采集时间为2021年12月至2024年11月,共包含3个文件。
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