极紫外光谱与波长特性数据

该数据集主要面向58.4 nm极紫外相干光源的波长确认、光谱标定与光谱纯度评估研究，是验证项目技术路线正确性的基础数据资源。数据来源于中国科学院上海微系统与信息技术研究所231实验室的极紫外光谱测试实验，先利用微波激发氦离子灯获取标准极紫外谱线，对CCD像素与波长映射关系进行标定，再在保持相同光路与采集参数的条件下测量激光泵浦激发态氦原子产生的极紫外光谱。数据记录了标准氦离子灯光谱与目标极紫外光谱的原始采样、导出中间结果、程序处理后的标准化结果及最终分析图表，形成了从原始采集到结论输出的完整链条。数据体量上至少包括原始 .sif 文件、导出 .asc 文件、处理后 .dat 文件及最终表格图像，属于典型的多层级实验光谱数据集。