物理气相输运法中低杂质含量AlN源粉的制备数据集

数据集包含建立大尺寸热场条件下多孔介质多项流物质传输理论模型过程中的模拟仿真数据以及传质动力学仿真有限元模块数以及AlN源粉的制备过程包括C含量、O含量等关键指标。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集面向物理气相输运法制备低杂质含量AlN源粉，提供了大尺寸热场下多孔介质多项流物质传输理论模型的模拟仿真数据，以及传质动力学仿真有限元模块数据。同时，数据集还涵盖了AlN源粉制备过程中碳（C）和氧（O）含量等关键杂质指标的记录。