物理气相输运法制备2英寸AlN单晶晶锭、衬底数据集

数据集包含长晶工艺优化过程中的模拟仿真数据及表征数据以及2英寸AlN单晶晶锭和衬底的制备过程包括直径、厚度等关键指标。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于采用物理气相输运法（PVT）制备2英寸AlN单晶晶锭及衬底的过程，收录了长晶工艺优化中的模拟仿真数据与表征结果。数据集中包含了制备过程中的关键指标，如晶锭和衬底的直径、厚度等参数，为AlN大尺寸单晶的生长研究提供了基础数据支持。