多通道微型离子敏传感器关键工艺数据集

根据项目课题任务书要求开发多通道微型离子敏传感器关键工艺。针对上述要求，中国科学院上海微系统与信息技术研究所对所制备的元件在中国科学院上海微系统与信息技术研究所12楼1213室进行仿真并达到课题任务书指标要求，提供了多通道微型离子敏传感器的仿真结果，数据采集于2024年3月1日至2024年11月29日，数据包括多通道微型离子敏传感器的仿真结果，均满足项目课题任务书的要求。数据类型为1个mph文件（多通道微型离子敏传感器的仿真结果），共15.92MB。