调制器阵列芯片与主电芯片的键合面夹角数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
调制器阵列芯片与主电芯片的键合面夹角数据面向光电子阵列芯片的贴装平整度研究，对完成三维封装工艺的芯片整体做切片，利用二次元测量仪测量三维键合区硅光芯片PIC表面与封装于PIC上的主电芯片的两端间隙，计算并记录两芯片的键合面夹角数据，数据量为29.7MB。
提供机构：
苏州旭创科技有限公司
