SiC外延片合金背金层微磨削加工质量表征数据集

表征微磨削切割质量的SiC样品底部表面粗糙度和微观形貌测量与表征数据；表征微磨削产生的SiC样品亚表面损伤的形貌数据；加工质量对材料性能影响的分析报告。以上数据集也用于SiC 外延片机械-激光复合切割技术的开发基础。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集收录了SiC外延片合金背金层微磨削加工质量的表征数据，涵盖底部表面粗糙度与微观形貌测量、亚表面损伤形貌，以及加工质量对材料性能影响的分析报告，为SiC外延片机械-激光复合切割技术的开发提供基础数据支撑。