6英寸氧化镓单晶直径检测数据集

本数据集包含6英寸氧化镓单晶衬底直径测量的原始记录、仪器信息、环境条件、计算过程及校准证书信息，共四次测量，每次测量包含3条直径测量数据和1条平均值计算结果，数据量26.56MB。本数据集提供了直径测量的原始记录、计算过程及仪器校准证书信息，为氧化镓单晶衬底尺寸质量控制提供可追溯的数据支持。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了6英寸氧化镓单晶衬底直径的测量过程，包含原始记录、仪器环境条件、计算步骤及校准证书等信息，共进行四次测量，每次获得三条直径数据和一组平均值，数据量约26.56MB。该数据集为氧化镓单晶衬底的尺寸质量控制提供了可追溯的数据依据。