6英寸氧化镓单晶直径检测数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-28 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69c01211bb16e02c49cdef78&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
本数据集包含6英寸氧化镓单晶衬底直径测量的原始记录、仪器信息、环境条件、计算过程及校准证书信息，共四次测量，每次测量包含3条直径测量数据和1条平均值计算结果，数据量26.56MB。本数据集提供了直径测量的原始记录、计算过程及仪器校准证书信息，为氧化镓单晶衬底尺寸质量控制提供可追溯的数据支持。
提供机构：
杭州富加镓业科技有限公司
