6英寸氧化镓单晶缺陷检测数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-28 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69c01210bb16e02c49cdef76&type=1
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资源简介：
本数据集包含6英寸氧化镓单晶（N型与半绝缘型）的直径测量数据与位错密度统计结果。数据来源于中国计量科学研究院出具的测试报告（编号QYc12025-00293、QYc12025-00294），包含晶圆直径三次测量值、五片位错检测陪片图像统计表及计算所得位错密度。
提供机构：
杭州富加镓业科技有限公司
