6英寸氧化镓单晶缺陷检测数据集

本数据集包含6英寸氧化镓单晶（N型与半绝缘型）的直径测量数据与位错密度统计结果。数据来源于中国计量科学研究院出具的测试报告（编号QYc12025-00293、QYc12025-00294），包含晶圆直径三次测量值、五片位错检测陪片图像统计表及计算所得位错密度。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集针对6英寸氧化镓单晶（N型与半绝缘型）提供直径测量数据与位错密度统计结果，数据源自中国计量科学研究院的测试报告，包含晶圆直径三次测量值、五片位错检测陪片图像及计算所得位错密度。数据集涵盖tif、jpg、xlsx、pdf、docx等多种格式，共计210个文件，总数据量约2.62GB，由中国科学院上海光学精密机械研究所与杭州富加镓业科技有限公司联合发布。