6英寸氧化镓表面粗糙度加工数据集

测试方法参照GB/T 32189-2015《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》。 1)按规定要求将氧化镓晶圆固定在样品台上。 2)根据样品表面粗糙度范围，设定不小于10 μm × 10 μm的扫描范围。 3)选取圆心或不少于三个随机位置进行测量，扫描获得表面形貌。 4)对扣除中线后的表面形貌计算算术平均偏差Ra： 4)选择拟合轮廓线中所用的多项式阶数，并对表面形貌所包含的每条表面轮廓，逐一采用最小二乘法拟合，获得中线，并将该表面轮廓扣除中线，从而获得扣除中线后的一组表面形貌。 5)对扣除中线后的表面形貌计算算术平均偏差Ra 拟合过程可采用经验证符合本标准的数据处理软件自动完成。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦6英寸氧化镓晶圆的表面粗糙度加工测量，采用原子力显微镜法，依据GB/T 32189-2015标准进行扫描与算术平均偏差Ra的计算。数据由杭州富加镓业科技有限公司和中国科学院上海光学精密机械研究所联合提供，包含10个文件（jpg、pdf、docx），数据量12.44MB，来源于国家重点研发计划项目。