6英寸氧化镓表面粗糙度加工数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-28 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69c0120ebb16e02c49cdef72&type=1
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资源简介：
测试方法参照GB/T 32189-2015《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》。
1)按规定要求将氧化镓晶圆固定在样品台上。
2)根据样品表面粗糙度范围，设定不小于10 μm × 10 μm的扫描范围。
3)选取圆心或不少于三个随机位置进行测量，扫描获得表面形貌。
4)对扣除中线后的表面形貌计算算术平均偏差Ra：
4)选择拟合轮廓线中所用的多项式阶数，并对表面形貌所包含的每条表面轮廓，逐一采用最小二乘法拟合，获得中线，并将该表面轮廓扣除中线，从而获得扣除中线后的一组表面形貌。
5)对扣除中线后的表面形貌计算算术平均偏差Ra
拟合过程可采用经验证符合本标准的数据处理软件自动完成。
提供机构：
杭州富加镓业科技有限公司
