纳米冷阴极电子源数据集

数据集包括了纳米冷阴极电子源17个研究成果，包括了大电流场发射冷阴极电子源、等离子体介导发射的纳米冷阴极电子源和基于级联水平隧穿结的电子源。给出了详细的测试表征数据、可视化的扫描电镜、透视电镜图片、制造工艺示意图和基于冷阴极的原型器件的性能表征数据。为开拓亚毫米波产生新方法和器件研究提供了高质量的电子源。