叶片表面一体化集成薄膜传感器设计与制造数据集

针对航空发动机研制过程中对极端环境下温度、应变、热流测试需求，本课题研究高温下传感器的敏感特性及变化规律，弄清热-力-化耦合对传感器敏感特性的影响机理；设计温度-应变-热流集成薄膜传感器结构，开展叶片表面一体化集成薄膜传感器的制造研究，建立图形化制备技术和多参数集成薄膜传感器制造技术，制备出温度-应变-热流多参数集成薄膜传感器；研究传感器电极的跨叶片缘板信号引出方法，建立跨叶片缘板薄膜电极制备技术。针对叶片表面一体化集成薄膜传感器设计与制造研究，开展三种薄膜传感器设计仿真和图形化制备研究，进行了表面微区分析测试、成分测试、热风洞冲刷试验、高温敏感性能测试等，获得叶片表面一体化集成薄膜传感器在极端工况下的性能输出数据。