大尺寸平面超表面离子束刻蚀与聚光器性能评价实验数据集

本数据集依托国家重点研发计划“宽波段平面超表面太阳能聚光器及其集热系统”项目，开展了系统性的实验研究与数据构建工作。实验数据采集于2023 年至2025 年，实验地点涵盖武汉理工大学与中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，构建了涵盖原始实验数据、分析数据、可视化图表及配套支撑文件的完整实验数据集.。通过控制变量法开展离子束刻蚀实验、全域覆盖式测量与宽谱段/广角聚光性能测试，数据集详细记录了刻蚀参数对结构精度的调控规律，建立了宽谱段聚光性能量化评价体系，同时涵盖了全域测量数据及宽谱段/广角性能测试结果，以及所制备大尺寸平面超表面聚光器核心性能指标的测量与评估结果。在数据质量控制方面，采用设备校准、实验重复、标准方法与交叉验证等多重保障手段：所有关键实验设备在使用前均经过严格校准；实验过程采用多次重复验证方式减少偶然误差；数据处理与分析遵循标准化方法，部分数据通过交叉验证进一步确保准确性。本数据集为600 mm × 1000 mm 级大尺寸平面超表面聚光器的规模化制备提供了扎实、可信的实验数据支撑，对微纳制造、太阳能光热发电等领域的科研创新与工程实践优化具有重要的学术价值与实际应用前景。数据容量52.4 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集依托国家重点研发计划项目，系统记录了离子束刻蚀实验和宽谱段聚光器性能测试数据，涵盖原始数据、分析结果及可视化图表。它为600 mm × 1000 mm级大尺寸平面超表面聚光器的规模化制备提供了实验支撑，对微纳制造和太阳能光热发电领域具有重要应用价值。