8吋硅基光电子芯片加工和封装平台硅光有源集成工艺数据库
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=683de7cc195d2612331892ab&type=1
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资源简介：
该数据集主要面向8吋硅基光电子芯片加工和封装平台硅光有源集成工艺的研究需求建设，基于上海微技术工业研究院的8吋平台条件设备产生，主要记录了2020年12月至2024年11月期间的研究结果，包括4个文件夹。数据总量850.65 MB。
主要内容包括专利和标准；服务企业证明文件和支持国家级项目证明文件；工艺开发过程文件；工艺流程说明。
提供机构：
上海新微技术研发中心有限公司
